產品詳情
產品名稱：EDMUND OPTICS阿秒多層反射鏡#16-767
產品型號：#16-767
產品介紹
極紫外光(EUV)阿秒多層反射鏡設計用于阿秒脈沖的轉向、聚焦和整形。他們的多層膜中心位于65eV（19nm），帶寬為6eV（1.8nm），為 S 偏振光提供38%的峰值反射率。這些反射鏡支持持續時間為330阿秒的極紫外（EUV）脈沖。 UFI極紫外（EUV）阿秒反射鏡是基于高次諧波（HHG）、自由電子激光器（FEL）或其他量子光學應用產生和整形阿秒脈沖的理想選擇。可提供直徑為25.4mm的平面反射鏡和凹面反射鏡；如果您的應用需要定制中心能量、帶寬或其他規格的極紫外（EUV）多層反射鏡，請與我們聯系。
性能特點
l 設計用于65eV（19nm）下的 330 阿秒脈沖
l 具有38%峰值反射率的多層鍍膜
l ≤1? 表面粗糙度超拋光基底
l 另外提供專為 13.5nm 設計的極紫外（EUV）平面反射鏡 和 極紫外（EUV）球面反射鏡
技術參數
直徑 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(Corning 7980)
表面質量:10-5 (基質)
涂層規格:Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂層: 多層EUV (19nm)
入射角 (°):5
有效孔徑 (%):80設計波長 DWL (nm):19
邊緣: 精細研磨
表面粗糙度（埃）:<1
中心能源(eV):65 ±2
帶寬 (eV):6
支持的脈沖持續時間:330阿秒
邊緣厚度 ET (mm):6.35 ±0.20
有效焦距 EFL (mm):500.00
半徑 R1 (mm):1000.00
上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術詢問，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。為緊跟工業科技發展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產品集散帶來的二度成本優勢，進而提升了終端服務效率與水平。
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