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光刻機(jī)冷卻用高低溫一體機(jī)

數(shù)量(臺) 價格
50 58888.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 江蘇 昆山市
  • 發(fā)布日期：2025-04-03
  • 訪問量：11
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第1年

邁浦特機(jī)械（四川)有限公司

實名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人：邁浦特機(jī)械-馬斌
  • 手機(jī)：19182204476
  • 電話：-19182204476
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： 生產(chǎn)加工-私營有限責(zé)任公司
  • 所在地區(qū)：四川 成都市
  • 家家通積分：909分
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詳細(xì)參數(shù)
品牌邁浦特型號MPTD系列（-45℃-300℃）
工作原理螺桿式類型其他
冷卻方式風(fēng)冷式冷水機(jī)結(jié)構(gòu)型式密封式
熱水溫度根據(jù)客戶定制需求運行電耗具體聯(lián)系了解
冷卻水溫度根據(jù)客戶定制需求適用領(lǐng)域防化服材料研發(fā)
加工定制是結(jié)構(gòu)類型密封式
標(biāo)準(zhǔn)制冷量根據(jù)溫度范圍選擇外形尺寸具體聯(lián)系了解
管徑可根據(jù)客戶需求定制風(fēng)扇具體聯(lián)系了解
功率根據(jù)客戶需求定制電流具體聯(lián)系了解
重量具體聯(lián)系了解產(chǎn)地江蘇省蘇州市昆山市

產(chǎn)品詳情

專為半導(dǎo)體光刻工藝研發(fā)的光刻機(jī)冷卻用高低溫一體機(jī)，集成高精度制冷與加熱系統(tǒng)，實現(xiàn) - 45℃~300℃寬溫域精準(zhǔn)控溫，滿足光刻機(jī)光源、投影物鏡、工件臺及晶圓平臺等核心部件的嚴(yán)苛溫控需求。設(shè)備采用西門子 PLC 智能控制與模糊 PID 算法，結(jié)合高效熱交換技術(shù)，確保 ±0.1℃級溫度穩(wěn)定性，有效解決光刻過程中因溫度波動導(dǎo)致的線寬偏差、套刻誤差及材料熱變形等問題，是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域高精度溫控的關(guān)鍵設(shè)備。

溫馨提示

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